【摘 要】
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以Ce(OH)3为前驱体,采用前驱体煅烧法制备CeO2抛光粉.通过调节煅烧温度、升温速率和保温时间获得的具有不同比表面积的CeO2颗粒样品,将样品球磨破碎,制备出中位粒径为(1.0±0
【机 构】
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东北大学材料科学与工程学院材料各向异性与织构教育部重点实验室,辽宁沈阳110819;德米特(苏州)电子环保材料有限公司,江苏苏州215000
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以Ce(OH)3为前驱体,采用前驱体煅烧法制备CeO2抛光粉.通过调节煅烧温度、升温速率和保温时间获得的具有不同比表面积的CeO2颗粒样品,将样品球磨破碎,制备出中位粒径为(1.0±0.1)μm的CeO2抛光液.通过分析CeO2抛光液对K9玻璃的抛光切削量和表面粗糙度Ra值来评价其抛光性能,采用比表面仪(BET)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)等表征手段对样品的比表面积、物相组成、微观组织结构和抛光玻璃表面粗糙度进行分析,结果表明:前驱体Ce(OH)3煅烧可以制备具有立方萤石结构、尺寸均匀的纳米级CeO2抛光粉,煅烧温度的升高,保温时间的延长和升温速率降低均会使CeO2颗粒的比表面积减小.CeO2颗粒的比表面积是其抛光性能的关键,比表面积越小切削能力越强,本实验样品对K9玻璃的切削量最大可达900nm·min-1,此外,比表面积对玻璃抛光质量也有重要影响,在比表面积为5 m2·g-1时,获得的玻璃表面粗糙度小,玻璃表面质量高.
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