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分析了三氯氢硅生产装置的干法除尘和湿法除尘工序中管道堵塞的原因,并提出相应的操作注意事项。
三氯氢硅生产中管道堵塞原因及预防措施
【摘 要】
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分析了三氯氢硅生产装置的干法除尘和湿法除尘工序中管道堵塞的原因,并提出相应的操作注意事项。
【机 构】
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江西景德半导体新材料有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2014年05期
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