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为开发大尺寸场发射显示器需要的能承受高温热处理的薄膜电极，以Al作为Ag层的保护层和与玻璃衬底的粘附层，采用直流磁控溅射制备了Al／Ag／Al复合薄膜及其电极。采用XRD、AFM、光学显微镜和电性能测试系统，研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响。由于表面致密的Al2O3膜的保护，使得加热退火（〈600℃）不会对Al／Ag／Al薄膜和电极造成明显的氧化，然而Al层与Ag层发生的界面扩散和固相反应增大了电极的电阻率（从5．0×10^-8Ω·m上升至23．6