【摘 要】
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Taylor Hobson公司最近已将相位光栅干涉计(PGI)投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为10mm和13um,它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论PGI计的工作方式及其
【机 构】
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Guidance Control Systems Ltd,Clockhill Wharfe,Warks,UK,Taylor Hobson Ltd,Leicester,UK
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Taylor Hobson公司最近已将相位光栅干涉计(PGI)投放市场。这种度量计目前的测量范围和分辨率分别为10mm和13um,它代表了计量技术的重大突破。在此将讨论PGI计的工作方式及其主要性能。
Taylor Hobson recently introduced phase grating interferometry (PGI) to the market. The current measurement range and resolution of such meters are 10mm and 13um, respectively, which represents a major breakthrough in metrology technology. This article will discuss the PGI meter work and its main performance.
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