论文部分内容阅读
详细研究了工业硅中杂质存在形式及分布。工业硅中多数杂质偏析在硅晶界，组成深浅不同的杂质相，组分能谱分析证明颜色差异由铁、钛、铝、硅含量不同造成。白色区域是富Fe-Al-Si合金相，其中铁、硅含量分别大于35％和45％；黑色区是富Fe-Ti-si合金相，钛和铁分别大于20％和30％；其余区域为富Fe-Si合金相，Al、Ti含量较少，Ti含量高颜色深，Ai含量多颜色浅，其它金属杂质元素则无规律地分布于杂质相中。杂质分布规律与其含量和分配系数相一致。