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介绍了环形狭缝波导天线等离子体源的原理和结构。采用微波单探针测量了无等离子体情况下环形波导狭缝天线内的电场分布,利用Langmuir双探针测量了该源的氩等离子体的特性,结果 微波功率为200-600W,运行气压为40-600Pa范围内,电子温度可达0.5-33eV,离子密度最高达6×10^10cm^-3。