ITO气敏薄膜的研制及应用

来源 :四川工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iris_1204
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本文阐述了ITO气敏薄膜的制作过程、工作原理与气敏特性的测试方法和它的应用前景,对掺入Pt前后的ITO气敏薄膜的灵敏度进行了对比研究。
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