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期刊论文
非均匀掺杂衬底MOS结构少子产生寿命的测量
非均匀掺杂衬底MOS结构少子产生寿命的测量
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z360052113
【摘 要】
:
本文分析了非均匀掺杂衬底MOS电容对线性扫描电压的瞬态响应,提出了三角波C-V技术测量非均匀掺杂MOs电容少子产生寿命的方法.该方法简单、且不需知道衬底的掺杂分布.
【作 者】
:
黄庆安
史保华
顾英
张德胜
【机 构】
:
西北电讯工程学院微电子研究所,西北电讯工程学院微电子研究所西安南京工学院微电子中心博士生,西安,西安
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1989年7期
【关键词】
:
衬底
掺杂
MOS电容
少子
产生寿命
Nonuiformly doped MOS capacitors
Minority carriers
Generat
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本文分析了非均匀掺杂衬底MOS电容对线性扫描电压的瞬态响应,提出了三角波C-V技术测量非均匀掺杂MOs电容少子产生寿命的方法.该方法简单、且不需知道衬底的掺杂分布.
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