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提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的机理，并采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40 nm的尖锥形探针，再通过动态液膜电化学加工方法。即在工件阳极施加往复直线运动的方法制备出具有大长径比的探针。对动态液膜法的成形机理进行了阐述．通过试验分析得出加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比和平均直径的影响规律．并制备出长径比达70、平均直径为300 nm的大长径比探针。