非球面面形检测的特征干涉图数字分析法

来源 :浙江大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:yzq950830
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对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图”来实现
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