【摘 要】
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研制出一种新型微桥结构的氧化钒非制冷红外焦平面探测器.该微桥结构采用列相邻像素共用桥腿的方式,极大地增加了桥腿长度,减小热导,能有效提高像元响应率并降低噪声等效温差
【机 构】
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武汉高德红外股份有限公司,湖北武汉430205
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研制出一种新型微桥结构的氧化钒非制冷红外焦平面探测器.该微桥结构采用列相邻像素共用桥腿的方式,极大地增加了桥腿长度,减小热导,能有效提高像元响应率并降低噪声等效温差(NETD).同时该微桥结构采用双层工艺,增加桥面及氧化钒面积,提升填充率,进一步提升探测器性能.探测器器件阵列采用384×288,像素为12μm,读出电路采用逐行积分、逐列输出模式,封装方式采用高可靠性的金属真空封装.测试结果表明,探测器的NETD不大于15mK,响应率大于44 mV/K.其性能指标可以满足民用、军用等领域的应用需求.
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