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高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究江兴流，何宇亮，陈思富，李国华（北京航空航天大学应用数理系）（兰州大学现代物理系）（中科院半导体研究所）多极板赝火花（Ｐｓｅｕｄ。Ｓｐａｒｋ）放电室所产生的高功率脉冲电子束和离子束能对金属、半导体、高聚物...
高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究
【摘 要】
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高功率脉冲电子束制备纳米硅薄膜及其发光特性研究江兴流，何宇亮，陈思富，李国华（北京航空航天大学应用数理系）（兰州大学现代物理系）（中科院半导体研究所）多极板赝火花（Ｐｓｅｕｄ。Ｓｐａｒｋ）放电室所产生的
【机 构】
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北京航空航天大学应用数理系,兰州大学现代物理系,中科院半导体研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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