【摘 要】
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本文介绍一种在70年代发展起来的簿膜式电阻温度传感器。它是采用高频溅射将铂簿膜粘附在基底表面,经光刻、焊接、调阻、上保护胶后进行温度特性标定,制成了尺寸小、精度高、
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本文介绍一种在70年代发展起来的簿膜式电阻温度传感器。它是采用高频溅射将铂簿膜粘附在基底表面,经光刻、焊接、调阻、上保护胶后进行温度特性标定,制成了尺寸小、精度高、反应快,可作表面温度测量、瞬态温度变化及热流测量的新型测试元件。
This article describes a developed film temperature sensor in the 70’s. It is the use of high-frequency sputtering platinum film attached to the substrate surface, the lithography, welding, adjusting resistance, after the protective glue on the temperature characteristics of calibration, made of small size, high precision, fast response, can be used for the surface New test components for temperature measurement, transient temperature changes and heat flow measurement.
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