【摘 要】
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阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义，介绍了目前国际上微电子机械系统所取得的成就及未
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阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义，介绍了目前国际上微电子机械系统所取得的成就及未来的发展趋势。
The definition, content, characteristics, development status, application prospect and its significance to the national economy, science and technology, national defense and people’s life are expounded. The achievements of the current international microelectromechanical systems And the future development trend.
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