TiN多弧离子镀过渡层的组成及其对涂层结合力的影响

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论述了 Ti N多弧离子镀涂层过渡层的组成及其形成机制和影响因素。实验结果及分析表明 ,Ti N涂层过渡层由混合层及扩散层组成 ,扩散层包括 Ti原子扩散层及 N原子扩散层 ;影响扩散层的主要因素是基体材料的成分和沉积温度 ;具有 N原子扩散层的过渡层将使涂层的结合力明显提高。 The composition, formation mechanism and influence factors of Ti N multi-arc ion plating coating transition layer are discussed. The experimental results and analysis show that the TiN coating transition layer is composed of mixed layer and diffusion layer, the diffusion layer includes Ti atom diffusion layer and N atom diffusion layer; the main factors affecting the diffusion layer are the composition and deposition temperature of the matrix material; The transition layer of the atomic diffusion layer will significantly improve the adhesion of the coating.
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