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本文首先针对化学机械抛光技术的概念进行论述，并在此基础上，分析了部分常见典型晶体的化学机械抛光技术，最后提出了目前化学机械抛光过程中所存在的一些问题，希望凭借此次经验交流，本文能够给予从事晶体加工方面的相关工作人员带来有价值的帮助，并期望本篇文章发挥出抛砖引玉的效果。
化学机械抛光在光学晶体加工中的应用
【摘 要】
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本文首先针对化学机械抛光技术的概念进行论述，并在此基础上，分析了部分常见典型晶体的化学机械抛光技术，最后提出了目前化学机械抛光过程中所存在的一些问题，希望凭借此次经验交
【机 构】
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沈阳理工大学
【出 处】
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南方农机
【发表日期】
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2016年10期
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