运用统计分析工具解决质量问题

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【摘要】

：

一、引言中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生

【作者】

：

黄晓兰

【机构】

：

中科院微电子中心

【出处】

：

中国质量

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

统计分析工具质量管理中科院微电子中心 ISO9002 统计过程控制系统

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一、引言中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的运行状况.同时,还积极运用统计分析工具(如柏拉图、线形曲线拟合、相关性等)对一些质量问题进行分析,找出问题的根源,并以此加强相关参数的SPC控制,以预防类似现象的再次出现.

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