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<正>边缘缺陷率已成为器件制造的重要问题,然而相当多的器件制造商认为,目前对晶圆边缘进行检测的能力还远远不够。虽然有些解决方案的表现还不错,但是它们似乎主要针对的是晶圆制造商,重点关注的是晶圆上的碎片和裂缝等物理损伤。
晶圆边缘缺陷的系统探测与分类
【摘 要】
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<正>边缘缺陷率已成为器件制造的重要问题,然而相当多的器件制造商认为,目前对晶圆边缘进行检测的能力还远远不够。虽然有些解决方案的表现还不错,但是它们似乎主要针对的是
【机 构】
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SemiconductorInternational高级编辑
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年Z1期
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