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报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器.该传感器采用半导体微加工工艺制备,具有体积小、重量轻、功耗低等优点.阐述了传感器的工作原理,描述了设计方案,介绍了计算机模拟仿真结果.
基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真
【摘 要】
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报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器.该传感器采用半导体微加工工艺制备,具有体积小、重量轻、功耗低等优点.阐述了传感器的工作原理,描述了设计方案,介绍了计算
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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