【摘 要】
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总结了现有各种微结构表面形貌测量方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
Summarize various measurement me
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川联合大学物理系
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总结了现有各种微结构表面形貌测量方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
Summarize various measurement methods of surface morphology of microstructures, summarize the principle, characteristics and development status of these methods, and compare the superiority, existing problems and application range of each method.
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