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综述了近10年无机膜的制备工艺、改性及成膜机理方面的研究进展.制备工艺包括溶胶一凝胶法、化学气相沉积法、阳极氧化法、磁控溅射法、喷雾热分解法等.成膜机理主要包括化学或物理过程以及相应的数学模型.
无机膜制备工艺、改性及成膜机理的研究进展
【摘 要】
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综述了近10年无机膜的制备工艺、改性及成膜机理方面的研究进展.制备工艺包括溶胶一凝胶法、化学气相沉积法、阳极氧化法、磁控溅射法、喷雾热分解法等.成膜机理主要包括化学
【机 构】
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湖南大学材料科学与工程学院
【出 处】
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陶瓷学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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湖南大学SIT计划支持项目
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