【摘 要】
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本文介绍了等离子体源的构造和性能，在较高真空条件下实现离子强化和镀膜一体化技术。氮离子流强达到８ｍＡ／ｃｍ２、氮化速度达到８０μｍ／ｈｒ，在材料表面形成良好的力学梯度，提高膜基结合力和服役寿命
【机 构】
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大连理工大学,托木斯科国立大学,托木斯科强流研究所,香港城市大学
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本文介绍了等离子体源的构造和性能，在较高真空条件下实现离子强化和镀膜一体化技术。氮离子流强达到８ｍＡ／ｃｍ２、氮化速度达到８０μｍ／ｈｒ，在材料表面形成良好的力学梯度，提高膜基结合力和服役寿命。
This article describes the construction and performance of the plasma source, ion enhancement and coating integration at higher vacuum conditions. Nitrogen ion intensity reached 8mA / cm2, nitriding rate reached 80μm / hr, forming a good mechanical gradient on the surface of the material to improve the film-based bond strength and service life.
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