可变入射角波长扫描RPA型椭偏仪的研制

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wing001019
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设计制作了一台用同步旋转起偏器和检偏器(转速之比为1:2)测量方式的波长扫描型椭偏仪。由于附加了一个固定偏振器以消除光源的部分偏振性,实验信号包括一个直流成分和四个交流成分,其频率分别为ω0,2ω0,3ω0和4ω0,利用四个交流成分中的任意三个便可以得到材料的复介电函数,实验结果的自洽度优于0.5%。并详细介绍了系统的设计、定标和校正过程,利用该椭偏仪对Au和CdTe样品复介电函数的测量结果与其它报道一致。
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