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具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro／meso结构器件的加工，是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造金属micro／meso结构器件的几种常用加工技术（精密机械加工技术、LIGA和LIGA—like技术、微细电火花加工技术、微细电解加工技术和选择性电沉积技术等）及其工艺进展，并分析了它们的优缺点。