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采用三点弯曲法测试ＢｅＯ陶瓷基片的抗折强度，对样品的显微结构进行了分析，发现呈现过烧显微结构的样品，抗折强度较低。
BeO陶瓷基片的抗折强度分析
【摘 要】
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采用三点弯曲法测试ＢｅＯ陶瓷基片的抗折强度，对样品的显微结构进行了分析，发现呈现过烧显微结构的样品，抗折强度较低。
【机 构】
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陕西骊山微电子公司
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1997年5期
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