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期刊论文
BeO陶瓷基片的抗折强度分析
BeO陶瓷基片的抗折强度分析
来源 :航天工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:m109bowen
【摘 要】
:
采用三点弯曲法测试BeO陶瓷基片的抗折强度,对样品的显微结构进行了分析,发现呈现过烧显微结构的样品,抗折强度较低。
【作 者】
:
李自学
赵新府
【机 构】
:
陕西骊山微电子公司
【出 处】
:
航天工艺
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
显微结构
陶瓷
缺陷
晶体结构
抗折强度
氮化铍
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采用三点弯曲法测试BeO陶瓷基片的抗折强度,对样品的显微结构进行了分析,发现呈现过烧显微结构的样品,抗折强度较低。
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