一种基于LabVIEW的相位法PSD微位移测量系统设计

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangyan215076379
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基于相位法的位置敏感探测器(PSD)检测技术较之幅值法具有处理电路简单、检测精度高、抗干扰能力强、环境适应性好等优点。利用二维双面分流型PSD和LabVIEW虚拟仪器平台,实现了基于相位法的PSD微位移测量系统的设计。实验表明:PSD输出信号的相位差和光斑位置具有良好的线性关系,非线性误差小于0.1%。
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