【摘 要】
：
热干扰特性是影响微热板气体传感器阵列热结构设计的重要因素之一。为探讨微热板阵列传感器单元之间的热力学特性关系,设计并制备了具有独立式加热功能的热隔离结构4单元微热
【机 构】
：
哈尔滨理工大学黑龙江省电解质工程国家重点实验室培育基地,哈尔滨理工大学测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室
论文部分内容阅读
热干扰特性是影响微热板气体传感器阵列热结构设计的重要因素之一。为探讨微热板阵列传感器单元之间的热力学特性关系,设计并制备了具有独立式加热功能的热隔离结构4单元微热板气体阵列,传感器阵列单元由Al N陶瓷衬底、Pt膜电极组成,为提高加热效率,阵列单元中间加热区采用激光微加工刻蚀热隔离通孔设计,与边缘形成微梁连接结构。利用有限元法对传感器阵列结构进行了热干扰仿真分析,验证了热隔离结构设计的合理性。给出了4种热干扰测试模式,并进行了热干扰特性测试分析,给出了4单元之间的热干扰规律曲线,得出传感器单元功耗300m
其他文献
针对现有悬架设计及实验不一致问题以及基本型Elman网络忽略了输出层节点的反馈，只能满足一阶线性动态系统信号处理，而不能满足多层网络、多阶系统的需求，提出了一种改进型Elman
水溶性聚苯胺（PANI）是目前导电高分子研究的热点之一。详细介绍了近十年来,以磺化聚苯乙烯（SPS）为模板制备水溶性导电PANI/SPS复合物的发展状况。合成水溶性导电聚苯胺过程强烈依
<正> 遵照国务院关于人民银行专门行使中央银行职能的决定,我省各县都设立了工商银行,与人民银行划分了帐务,实行资金分开、两套帐目。在执行中,人民银行对专业银行的资金控
面向核电设备冷却水泵（简称核电设冷水泵）转轴的功能安全评估是减少核电设备安全问题的重要手段之一。针对核电设冷水泵转轴故障突变时功能安全评估问题，提出了一种基于突变理论
在高中英语学科中渗透德育,可以彰显英语人文性和育人性,能培养学生的语言运用能力,提升自我修养,养成高层次的审美价值观。
筛选高效的有机磷农药乐果的降解菌。采集福建省福农生化有限公司排污口，沟口及草坪土壤进行乐果降解菌的分离鉴定。经含乐果的培养基分离培养、脂肪酸鉴定，总共得到17个属23株
<正> 租赁就是承租人以支付租金方式对自己所选定的机械设备在一定期限内获得专用权。早在公元六世纪中期,东罗马法典中已有调整租赁关系的法律规定。在现代、租赁已成为欧美
<正>云南省出土的青铜器遍及全省,较为集中的又在滇池区域。1955年至1960年,对晋宁县石寨山古墓群先后进行了四次发掘,清理墓葬五十余座,出土文物四千多件~①。随后1972年1月
<正> 所谓商业票据间接流动是指商业票据仅在企业与金融机构之间流动,即是指商业票据于到期之前作为抵押贷款的条件而从金融机构取得贴现资金的流动形式。对于这种流动形式,