【摘 要】
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3从气相制备微粉和超微粉的方法从气相生成微粉和超微粉的方法有两种：（1）系统中不发生化学反应的蒸发一凝聚法，也就是物理气相沉积法（PVD）；（2）气相化学反应法，也就是化学气相沉积法八二
【机 构】
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3从气相制备微粉和超微粉的方法从气相生成微粉和超微粉的方法有两种：（1）系统中不发生化学反应的蒸发一凝聚法，也就是物理气相沉积法（PVD）；（2）气相化学反应法，也就是化学气相沉积法八二）。下面分别加以讨论3．三蒸发一凝聚法这是一种利用电阻、电弧、高频电场、等离
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