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分析了用光刻胶记录激光散斑来制作粗糙度参数可控表面的方法，并成功地制作一批样品。这些样品表面具有连续平滑的起伏轮廓，符合粗糙度表面散射研究的理论模型，也可用作相位板。
制作粗糙度参数可控表面的理论及实验研究
【摘 要】
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分析了用光刻胶记录激光散斑来制作粗糙度参数可控表面的方法，并成功地制作一批样品。这些样品表面具有连续平滑的起伏轮廓，符合粗糙度表面散射研究的理论模型，也可用作相位板。
【机 构】
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电子科技大学应用物理研究所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1997年7期
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