论文部分内容阅读
以苯胺为单体在等离子体条件下进行聚合，测量所合成的有机膜经１００ｋｅＶ，５×１０＾１＾５ｃｍ＾－＾２Ａｒ＾＋注入后电阻率的变化，并用ＦＴＩＲ，ＸＰＳ和核分析方法对离子注入引起的结构和成分改变进行了探讨。结果表明，在等离子体环境下，聚合膜内仍含有大量环结构。由于Ａｒ＾＋的注入，聚合膜表面损伤而碳化，使注入层内的体电阻率降低１１个数量级。