【摘 要】
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试验了一种在真空中工作的“微螺杆”-型压电位移计.给出了该位移在两种压力(1个大气压和10~-6—10~-7乇)、三种负载(0、8、15牛顿)及0.5—50微米/秒范围内的四种速度情况下
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试验了一种在真空中工作的“微螺杆”-型压电位移计.给出了该位移在两种压力(1个大气压和10~-6—10~-7乇)、三种负载(0、8、15牛顿)及0.5—50微米/秒范围内的四种速度情况下工作的对比数据.这种器件现在正成功地用于调节扫描电子显微镜(SEM)中的x-y载物台.
A “micro-screw” -type piezo-electric displacement meter operating in a vacuum was tested, and the displacement was measured at two pressures (1 atmosphere and 10 -6 -10 -7 Torr) 0, 8, 15 Newtons) and four speeds in the range of 0.5 to 50 microns / second.The device is now being successfully used to tune the xy stage in a scanning electron microscope (SEM).
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