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本文阐述了节流抽气式气动激光窗口(TEALW)的真空密封原理,推导出了分子互扩散方程。依据此方程对CO2激光器工作气体He、N2、CO2、O2的互扩散速率进行了计算,所得曲线与实验数据能很好地吻合。
气动激光窗口真空密封原理及其分子互扩散方程
【摘 要】
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本文阐述了节流抽气式气动激光窗口(TEALW)的真空密封原理,推导出了分子互扩散方程。依据此方程对CO2激光器工作气体He、N2、CO2、O2的互扩散速率进行了计算,所得曲线与实验数据能很好地吻合。
【机 构】
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华中理工大学激光所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1990年17期
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