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采用射频反应磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出纳米ZnO镶嵌SiO2非晶薄膜，利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和紫外-可见分光光度计研究了纳米ZnO镶嵌SiO2薄膜相比纯ZnO纳米薄膜结构的变化及镶嵌结构对其光学特性的影响。研究发现与纯ZnO纳米薄膜相比，纳米ZnO镶嵌SiO2薄膜结构样品呈非晶结构，在紫外区光吸收系数以及光学带隙明显增大，光吸收以及光学带隙的变化与样品制备的村底温度有关。研究结果表明，由于SiO2的特殊结构实现了对纳米ZnO的束缚，减少了ZnO纳米粒子的集聚，使得