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采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工，对其表面溅射金属Au。试验结果表明，当溅射层厚度为27 nm和55 nm时，溅射层不够致密，Ag纳米线仍会发生溶解；当溅射层厚度为310 nm时，过厚的溅射层使Ag纳米线发生弯曲，从而使Ag纳米线与扫描隧道显微镜探针尖端的结合力变小并发生脱落；当溅射层厚度为150 nm和240 nm时，Ag纳米线在电解加工中均能保持稳定。采用溅射层厚度为15