【摘 要】
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针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点,完成了压力传感器的测试与标定。提出了一种测试与标定方法。以压力控制器输出的压力信号为标准信号源,并利用阻抗分析仪测量
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,
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针对所制备的微机械无线、无源压力传感器的特点,完成了压力传感器的测试与标定。提出了一种测试与标定方法。以压力控制器输出的压力信号为标准信号源,并利用阻抗分析仪测量传感器谐振频率,克服了传统测试方法复杂、精度低等缺点。通过模拟传感器的工作环境来建立压力传感器标定系统平台,根据压力控制器气压参数和传感器谐振频率参数拟合出压力-频率传输直线方程,结合反函数标定法实现传感器的标定。测试结果表明:该测试与标定的方法简单,适用于大多数无线、无源压力传感器。
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