IFBA芯块ZrB2涂层溅射沉积工艺研究

来源 :核科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:charles_y_tang
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采用国产多靶磁控溅射镀膜机在UO2陶瓷IFBA芯块表面上溅射沉积ZrBz涂层。利用金相显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、电感耦合等离子体发射光谱仪、胶带粘附性剥离等方法测定了沉积ZrB2涂层的厚度、形貌、物相结构、成分、附着力以及沉积速率等性能参数,研究了各溅射工艺条件如芯块表面清洁度、溅射气体压力、溅射功率密度和转鼓转速对ZrB。涂层沉积率和附着力的影响。结果表明,在功率密度57~72kw/m^2之间,ZrBz涂层的沉积率随功率密度的增加而增加;当转鼓转速大于0.6rpm时ZrB2涂层沉积率急剧下降
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