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掺杂浓度对重掺硼直拉单晶硅小角晶界的影响

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：danielwu

【作 者】

：

孙新利  黄笑容  徐一俊  郭兵健  何国君  陆燕  祖国 

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2014年11期

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