【摘 要】
：
目的:为了保证单晶硅晶圆的精研与抛光品质,寻找一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法。方法:利用氢氟酸溶液对单晶硅损伤层的选择性刻蚀特性对单晶硅亚表面损伤层厚度
论文部分内容阅读
目的:为了保证单晶硅晶圆的精研与抛光品质,寻找一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法。方法:利用氢氟酸溶液对单晶硅损伤层的选择性刻蚀特性对单晶硅亚表面损伤层厚度进行检测,观察分析单晶硅亚表面损伤层厚度与刻蚀时间的关系及其损伤受载荷和速度的影响。结果:随着氢氟酸溶液刻蚀时间的增加,单晶硅亚表面损伤层厚度先快速增加,然后又逐渐趋于平稳,至30分钟后近乎被完全刻蚀。若外加载荷≤单晶硅临界屈服载荷的1.1倍,则单晶硅亚表面损伤层厚度与刻画速度呈反相关关系;若外加载荷≥单晶硅临界屈服载荷的12.5倍,则单晶硅亚表
其他文献
成人高等教育传统教学模式存在的问题促使教学模式亟待改革和创新，在可持续发展和终身教育等理论指导下，成人高等教育需要具有时代特色、先进理念、优化创新的教学模式；尝试构建
新时期以来，山东省的茅盾研究取得了长足的发展。研究者采用多种研究视角和理论模式，逐步把茅盾研究推向深化，在茅盾的文艺思想与批评研究、作品研究、作家主体及综合研究以及传
目前,我国大多数公路工程所采用的施工现场管理体制依然带有前苏联的痕迹。该管理模式以固定行政建制为特征,丧失了现场管理的灵活性和机动性,致使管理效率低下。本文正是从
以一种机械臂的传动机构为例,探讨了伺服电机的选择问题。根据机械臂的工作模式,计算了丝杠传动机构的转动惯量和在各种工况下的负载转矩,选择了与之匹配的伺服电机型号。所
我国水资源短缺,在缺水地区特别是城镇、工业和人口比较集中的地区,水资源已成为社会经济发展的严重制约因素。城市污水的再生利用既可解决污染问题,又可使污水得到有效利用
发展农民职业教育是培育新型农民，推动劳动力有效转移，建设社会主义新农村的重要途径。我国农民职业教育能否克服体制落后、资金短缺等困难，逐步走向专业化、正规化，政府在其中的
普通高校音乐教育专业的舞蹈教学不同于专业院校的舞蹈教学，它有自己的特色和培养目标。本文从教学内容的安排、教学方法的运用以及教学能力和编刨能力的培养等方面来探索本专
婚姻法在我国颁布实施以来,极大的维护了平等、和睦、文明的婚姻家庭关系,但本文作者在农村调研期间,观察发现在我国农村大部分地区一些婚姻关系还并不完全符合我国婚姻法的
产学研相结合是提高高职人才培养质量，体现以就业为导向的高职教育特色，实现高职人才培养目标的有效途径之一。本文从高职教育的特色就高职发展的产学研结合模式进行了理论与实