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本文设计了一种用于激光扫描的微反射镜，使用微结构对浙江光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算，该微反射镜可以８００Ｈｚ频率、４０°偏转角进行激光扫描。
一种大角度高频率的激光偏转扫描微反射镜设计方案
【摘 要】
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本文设计了一种用于激光扫描的微反射镜，使用微结构对浙江光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算，该微反射镜可以８００Ｈｚ频率、４０°偏转角进行激光扫描。
【机 构】
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西安电子科技大学501教研室
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2000年5期
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