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<正> 由于光纤通信技术的飞速发展和庞大的通信市场需求,把光学和电学功能集成在同一个衬底上的器件极受欢迎。随着Si和InP、GaAsⅢ-V族材料技术和器件制作工艺技术的发展,使制作各种复杂功能的高性能半导光电子集成器件和组件成为可能,相继出现了发射模块、接收模块和收发模块等光电子集成电路(OEIC)。把光学部件、