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报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器,采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质,铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性,如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明,在12%-92%的湿度范围内,电容-相对湿度曲线具有良好的线性度,灵敏度为0.9 pF/RH,响应时间为5.5 s。