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讨论了微细电解线切割加工的机制；针对加工中产生的短路现象，制定了进给运动控制方案’采用电化学腐蚀法在线制备了直径为10gm左右的钨丝线电极；设计了适合微细电解线切割加工特点的冲液系统；针对电解液、加工电压和加工速度等影响微细电解线切割加工精度的因素进行了参数对比试验，通过优化加工参数，在不锈钢（0Cr18Ni9）试件上加工出了小至30μm的微缝以及直径为10μm的探针和90°微直角结构，尺寸均匀，加工稳定性好。