【摘 要】
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半导体工艺设备是集成电路发展的重要先决条件。集成电路工艺技术的改进提高和产品的更新换代都与工艺设备息息相关。如何发展我国的半导体工艺设备，促进集成电路产业的发展，是
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半导体工艺设备是集成电路发展的重要先决条件。集成电路工艺技术的改进提高和产品的更新换代都与工艺设备息息相关。如何发展我国的半导体工艺设备，促进集成电路产业的发展，是我们应当认真思考的一个问题。本文在简单回顾了我国半导体工艺设备的发展历程之后，论述了它的现状与面临的问题，并就今后的发展提出了几点具体意见。
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