一种动态光刻制造精密线纹尺的新方法

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去年,我们介绍过这种方法的梗概,引起有关单位的注意,希望提供较详细的资料,以便进一步探讨。通过我们半年来的实验摸索,取得了一些成果,证明此方法是行之有效的。但由于工作刚刚开始,时间比较仓促,某些方面还不够成熟,仅供参考。 Last year, we introduced the outline of this method and aroused the attention of the relevant agencies. We hope to provide more detailed information for further discussion. Through our six months of experimenting, some achievements have been made to prove that this method is effective. However, as the work has just begun, the time is short and some aspects are not yet mature enough for reference only.
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