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近日，Pixelligent公司开发出一种据称可提高现有光刻设备分辨率的纳米晶材料，使光学光刻可扩展至32nm以下。该公司于近期结束了一轮200万美元的股权融资，所集资金将用于纳米晶材料的商业化，据称该材料可用于光学光刻以及微电子的纳米复合涂料。
Pixelligent新型纳米晶材料可扩展光刻技术
【摘 要】
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近日，Pixelligent公司开发出一种据称可提高现有光刻设备分辨率的纳米晶材料，使光学光刻可扩展至32nm以下。该公司于近期结束了一轮200万美元的股权融资，所集资金将用于纳米晶材
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2009年16期
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