【摘 要】
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由于非球面光轴的唯一性，非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差．通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差，可以发现传统定心仪很难达到控制目的，而干涉测量方
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学研究室,中国科学院研究生院
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由于非球面光轴的唯一性，非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差．通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差，可以发现传统定心仪很难达到控制目的，而干涉测量方法却能得到较高的准确度．理论推导和模拟计算表明：顶点偏心角与偏心彗差之间有线性关系，顶点偏心角的彗差灵敏度与非球面的陡度成正比．使用干涉检测的方法可以同时控制非球面的两种偏心误差，且其检测准确度可以达到0．02mm．
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