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用IR研究H^+辐照对Mo涂层的影响
用IR研究H^+辐照对Mo涂层的影响
来源 :原子与分子物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxpwode10
【摘 要】
:
在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500~4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照
【作 者】
:
刘春海
杜晓松
汪德志
黄宁康
杨斌
【机 构】
:
四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
原子与分子物理学报
【发表日期】
:
2007年6期
【关键词】
:
MO薄膜
离子束混合
电子束处理
IR
H^+
辐照
Mo films
ion beam mixing
electron beam treatment
I
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在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500~4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对Mo涂层的抗氢机理进行了探讨.
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