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暗场电子全息是近年来出现的实验技术,是测量半导体器件中应变分布的有力手段。它将莫尔技术与离轴电子全息结合起来,具有空间分辨率高、视场范围大、精确度高、结果直观等优点。本文简要介绍了该技术的原理、实验方法和应用。
暗场电子全息技术及其在应变分析中的应用
【摘 要】
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暗场电子全息是近年来出现的实验技术,是测量半导体器件中应变分布的有力手段。它将莫尔技术与离轴电子全息结合起来,具有空间分辨率高、视场范围大、精确度高、结果直观等优
【机 构】
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中国科学院物理研究所北京凝聚态国家实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2012年6期
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