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根据传统近红外光谱仪的不足，利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路，并给出了仪器的设计框架，设计了仪器的上位机程序；利用单色仪和29．4％的甲烷气体样品和对样机进行测试，实验结果表明：在10-35℃内，仪器波长稳定性小于2nm，并能够观测到甲烷在1650nm附近吸光度约为0．01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中，对于气体检测是可行的，并且能够使仪器做到便携式。