InGaZnO薄膜晶体管背板的栅极驱动电路静电释放失效研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：maidouqaz

【摘要】

：

本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TF

【作者】

：

马群刚周刘飞喻玥马国永张盛东

【机构】

：

北京大学信息工程学院,北京大学信息科学技术学院,南京中电熊猫平板显示科技有限公司

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2019年10期

【关键词】

：

Cu互连 InGaZnO薄膜晶体管阵列基板栅极驱动静电释放

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiNx/SiO2栅极绝缘层;源漏极金属层成膜前就发生了ESD破坏;距离ESD破坏区域越近的IGZO TFT,电流开关比越小,直到源漏极与栅极完全短路.本文综合IGZO TFT器件工艺、GOA区与显示区金属密度比

其他文献

Analysis of the therapeutic effect of transhepatic arterial embolization combined with microwave abl

Objective:To analyze the imaging results of hepatic epithelioid hemangioendothelioma(HEHE)and the effect of transhepatic arterial embolization(TAE)combined with

期刊

ANALYSISTHERAPEUTICEFFECT

数据采集和分析软件工具述评(二)

四.可视编程语言 1.可视编程方法可视编程也称图标、图表或图形编程。整个程序(不仅用户界面)都是通过建立和连接图标而不用基于文本的传统方法产生。图标代表功能(子程序)

期刊

数据采集和分析控制器指示器仪器驱动程序可视编程接线图

Nomogram for preoperative estimation of liver cirrhosis in hepatitis B virus-related hepatocellular

Objective:The degree of liver cirrhosis is one of the most important diagnostic and prognostic assessments in chronic liver disease.Among the etiologies of live

期刊

NOMOGRAMPREOPERATIVEESTIMATION

Efficacy evaluation of DynaCT-assisted DEB-TACE in the treatment of primary liver cancer

Objective:To evaluate the efficacy of DynaCT-assisted DEB-TACE in the treatment of primary liver cancer and its clinical advantages compared to traditional tran

期刊

EFFICACYevaluationDynaCT-assisted

Cryoablation of hepatocellular carcinoma with high-risk percutaneous ablation

Objective:To evaluate the safety and effectiveness of cryoablation in the treatment of subcapsular hepatocellular carcinoma(HCC)adjacent to various organs.Metho

期刊

CRYOABLATIONHEPATOCELLULARCARCINOMA

新课标下高中体育课课练教学效果探析

基于《普通高中体育与健康课程标准(2017年版)》的颁布与实施,新课程标准提出了新的学科核心素养基本要求与课程目标,其中运动能力作为学科核心素养的基本要求之一,主要包含

期刊

新课程标准高中体育课课练研究

基于核心素养提升的高中物理教学思考——以广西钦州市第二中学为例

随着新课程改革的深入,以学科知识结构为核心的课程标准体系逐渐向以个人终身发展、终身学习为主的核心素养转化,培养并逐渐提高学生的核心素养成为新课程改革的新目标。在高

期刊

核心素养高中物理思考

Highly Recommended Articles

We invite you tosubmit your next paper at https://mc03.manuscrptentral.com/cbm Epidemiology of ovariancancer:areview Brett MReid,Jennifer BPermuth,Thomas A Sell

期刊

ARTICLESOVARIANCANCERareview

低碳城市背景下基于财税政策的博弈分析

低碳城市作为一种公共品,在低碳生产上不能单靠企业的自主性,更多地需要政府利用行政性手段和市场激励手段来诱导企业。其中,财税政策是主要的市场激励手段,企业对财税政策的

期刊

低碳城市低碳生产财政政策税收政策动态博弈

浅谈五菱汽车的配件工程

介绍了汽车配件工程的定义,以及汽车配件拆分策略的原则及电子配件目录的优势,通过实施配件拆分策略几大原则,运用电子配件目录使得五菱汽车提供的配件能够满足用户的需求。

期刊

汽车配件工程配件拆分策略电子配件目录

InGaZnO薄膜晶体管背板的栅极驱动电路静电释放失效研究

与本文相关的学术论文